投影物镜、工件台以及光源是光刻机的三大核心子系统，具有至关重要的作用。2001年，ASML推出的双工件台系统，大大提升了光刻机的产能。据悉，单工件台生产率为80片/时，而双工件台则达到了270片/时。
ASML的这一行动，引起了清华大学机械工程系教授朱煜的关注。朱煜表示自己当时下意识地说：这就是我想要做的，中国必须掌握这样的顶尖技术。
于是，朱煜带领团队开始攻克工件台这一难题。
当时，中国光刻机产业远落后于海外，光刻机分辨率停留在0.8-1微米，而海外则已经推进至0.1微米。同时，双工件台技术作为一个世界级的难题，被ASML牢牢握在手中，摆在朱煜团队面前的，是强大的技术壁垒。
而且在研发过程中，朱煜团队也一度因为研发经费不足，进度几乎停滞。直到加入“02专项”，朱煜才有科研资金得以继续研发。
2012年，为推进产业化进程，朱煜等人成立华卓有限(此后该名为华卓精科)。经过多年的发展，朱煜团队的努力终于有了回报，2016年华卓精科研制成功两套α样机，并成为光刻机项目群中首个通过02专项验收的项目。
如今，华卓精科更是已经打破了ASML的垄断，成为全球“唯二”掌握高端光刻机双工件台的企业。在2021年，华卓精科更是将推出可用于浸没式28nm光刻机的DWSi系统双工件台。据悉，该类双工件台一台便要6000万元。
目前，上海微电子是华卓精科双工件台产品的唯一客户。2019年受上海微电子采购进度晚于预期的影响，华卓精科该年的双工件台业务并没有收入。
可以看出，客户的单一是华卓精科双工件台业务的一大难题。但当前ASML、尼康与佳能这三大光刻机巨头，都是工件台自研自产，将这一核心技术掌握在自己手中，华卓精科没有机会从中拿到订单。
为此，近年来，华卓精科的主要营收正向精密运动系统方面转变，以支撑公司的发展。
而且，业界对于华卓精科的发展也十分看好。在今年6月，华卓精科的科创板上市申请获得受理，有望成为光刻机第一股。
如今，中国芯片产业发展脚步较快，尤其是对光刻机的关注度不断提升。在这样的大环境下，华卓精科也更有望找到新的发展机遇。
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