光刻机购买 不断地寻求技术突破

2021-03-08 10:36:05

与荷兰光刻机巨头阿斯麦集团(ASML)签订一份高达12亿美元的订单。

阿斯麦集团紧随其后“官宣”,证实中芯国际采购的正是深紫外线光刻机(即DUV光刻机)。

而在3月1日,美国国家安全人工智能委员还煞费苦心地写了一份报告,让美国政府“劝说”荷兰和日本,不要为中国发放芯片制造设备的许可证。

这才过了两天,中芯国际就狠狠打了美国的脸。

原本中芯国际与阿斯麦签署的购买协议已于2020年底到期,但是两家公司经过协调之后达成共识,决定延长此份协议的期限至今年年底。

这意味着,在美国多方位遏制打压中国芯片制造的情况下,中国也算是踏出了突破性的一步。

中芯国际于去年开始被美国“制裁”,美国以所谓的“与军方有联系”为由,要求美国半导体制造企业,不得向中芯国际出口产品和关键性技术。

如果中芯国际想与美国供应商合作,必须申请相应的许可证。美国不仅严格管控本国的企业,还把手伸向了其他国家的企业。

荷兰的阿斯麦集团作为半导体制造业的“领头老大”,自然成为了美国的首要目标。

在芯片制造产业链中,光刻机是必不可少的精密设备。但因为其复杂的工艺,全世界只有几个国家的企业能生产顶级的光刻机。

荷兰的阿斯麦企业在这个领域是实打实的佼佼者。如果说深紫外线(DUV)光刻机还有几家企业能造,而比DUV光刻机更精密的极紫外线(EUV)光刻机,全球只有阿斯麦能造。

美国明面上没有表示,其实暗地里多次向阿斯麦集团施压,阻止阿斯麦向中芯国际出口关键的芯片制造技术,包括设备。

虽然这份协议的延长能缓解中芯国际的芯片生产压力,但中芯国际对产品和技术的进一步发展仍有很大的阻碍,因为此次协议不包括更先进的EUV光刻机。

据阿斯麦有关人士透露,向中国出口DUV光刻机没有问题,但EUV光刻机的出口仍需要荷兰政府的批准。

对于外国的技术垄断,中国也在不断地寻求技术突破。

近日,清华大学工程物理系教授唐传祥研究团队在《自然》杂志上发表了一篇论文,报告中显示,他们完成了一种新型光源的原理验证实验,这种光源名为“稳态微聚束”(SSMB),与极紫外线(EUV)有着密切的关系。

简单来说,这个原理的发现与验证,将有望为制造EUV光刻机提供新的技术路线与思路。

虽然这距离中国自主研发制造EUV光刻机还有非常遥远的距离,但无疑是一个巨大的希望。这不仅将能实现中国自身的技术发展,还能在面对美国频繁实施技术封锁与打压之时,更有底气。

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