王森先生，中国仪器仪表学会分析仪器学会在线分析仪器专业委员会委员，仪表自控高级工程师。

摘要：六 真空系统
质谱仪的离子源、质量分析器及检测器工作时，必须处于高真空状态，离子源的真空度一般应<10-3Pa，质量分析器应<10-4Pa。若真空度低，则会发生以下现象：

来源：《世界仪表与自...